技术文章_第(8)页－青岛森泉光电有限公司

光学隔振平台可分为以下两大类
2021-12-16 振动来源主要分为来自系统之外的振动和系统内部的振动。地面固有振动，工作人员踩踏地板以及开、关门或墙壁碰撞等通过地面传来的振动均属系统之外的振动，这一类振动需通过光学隔振平台的隔振腿衰减，而来自系统内部的振动包括仪器振动、气流、冷却水流等，则需依靠桌面阻尼来隔绝。光学隔振平台采用高阻尼处理技术和超高性能空气弹簧，*集成且使用简单，适用于光学显微镜，干涉仪，轮廓仪等精密仪器，可以为用户提供优异的被动隔振性能。主动隔振台与被动隔振台的区别两者的区别在于隔振方法。被动隔振台是由于材料...
如何选择可变放大倍率镜头？
2021-11-24 如何选择可变放大倍率镜头？选择成像镜头时，必须了解成像系统的基本系统参数（详情参见成像系统中的6种基本参数)。在正确选择镜头之前，至少要考虑工作距离、视场和分辨率等因素。对此，可以假设固定焦距镜头、变焦镜头和微距镜头具有相同的工作原理，并可按照相同的方式进行选择。假设变焦镜头规定了具体焦距，且变焦功能已锁定。所有可变放大倍率镜头都根据公式1进行对焦。当z’为像距（可视为成像平面和最后一个元件的距离），z为物距（或对焦物体和前方镜头元件的距离），f为镜头焦距。这是一种近似公式，...
如何选择固定倍率镜头？
2021-11-23 如何选择固定倍率镜头？初看之下，远心镜头或显微物镜等镜头看起来很难归类到某一种成像系统，它们的工作方式与传统固定焦距镜头截然不同。但与传统镜头相比，这种镜头的选择过程实际上要简单的多。除了少数例外情况，固定放大倍率镜头通常只能在一个工作距离处正常工作。此外它们还有特定的放大倍率，比如2.0X远心镜头。放大倍率实际上已标在镜头上，这就是它们正常工作的参数，而对于视场，我们只需将成像系统中的6种基本参数中的公式1转化为以下形式：:其中PMAG为镜头规定放大倍率。从这个公式中可以发...
脉冲激光的实现方法
2021-11-05 脉冲激光的实现方法导叙以连续波模式工作的激光器的输出功率不随时间变化。这是由于激光器达到了一种激光腔增益（取决于与泵浦速率成正比的粒子数反转）和损耗（包含腔损耗和受激辐射速率）保持平衡的稳态条件。由于能够显著提高峰值输出功率，所以通常希望激光器可以工作在脉冲模式?？梢越す馐涑龇⑺椭镣獠康髦破骼词迪致龀寮す庠俗?，调制器充当一个只在短时间内允许透过的开关（见图1，左）。这种简单的方法有许缺点。由于大多数光被调制器阻挡，该方法的效率很低。此外，峰值功率永远不会超过连续光源的平...
可调谐激光器从实现技术上可分为以下三种类型
2021-06-28 可调谐激光器是指在一定范围内可以连续改变激光输出波长的激光器，本产品与其他传统的固态激光器相比，具有从近紫外到近红外的宽波段调谐范围，并且其本身尺寸小、线宽窄和光学效率高，可用于光谱学、光化学、医学、生物学、集成光学、污染监测、半导体材料加工、信息处理和通信等。可调谐激光器从实现技术上看主要分为：电流控制技术、温度控制技术和机械控制技术等类型。电流控制技术是通过改变注入电流实现波长的调谐，具有ns级调谐速度，较宽的调谐带宽，但输出功率较小，基于电控技术的主要有SG-DBR(采...
什么时候使用主动隔振系统？哪种方法更适合您的应用程序？（第一部分）
2021-05-07 什么时候使用主动隔振系统？哪种方法更适合您的应用程序？（第一部分）主动系统隔振本章节将帮助工程师和科学家对主动隔振系统有一个大致的了解，它们是如何工作的，什么时候应该应用，以及它们有什么限制。由于半导体制造业在这一领域出现了许多应用，因此得到了特别的关注。5.1历史反馈控制系统已经存在了几百年，但是在20世纪有了最大的发展。在第二次世界大战期间，这项技术被用于防御系统，取得了非常迅速的进展。这些发展还在继续，甚至在今天，大多数关于控制系统的文本都以战斗机控制和倒弹制导系统为例...
如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量？
2021-02-05 如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量？振动对高级浸没式光刻的影响没有使用STACIS®在原基座的弹性体或刚性版本上获得jia模式使用STACIS®STACIS主动隔振实现的模式所示的45纳米线宽测试图形是由AmphibianSystems公司生产的*浸入式光刻系统生产的，安装在德克萨斯州*的SEMATECH公司。图像之间的差异是由于地震振动对光刻过程的影响。所显示的图像是使用扫描电子显微镜获得的。该工具初安装在钢和混凝土基座上，基座采用钢支撑结构，其中包含...
【是心动的感觉】-新品Cleanbench-AKTIV
2021-01-18 【是心动的感觉】-新品Cleanbench-AKTIV主动压电隔振与气浮隔振的完美结合：CleanBenchAktiv™实验台是TMC在高性能地面振动控制方面的新突破。它将TMC的Everstill主动消振技术与MaxDamp气浮隔振器相结合。Everstill可从0.5至0.7Hz开始提供出色的低频消振性能，而MaxDamp可提供高频率的较好隔振性能补充。比气浮性能改善高达40倍：这种串联式的组合结构，使我们的CleanBenchAktiv在特别关键的1-3Hz...

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