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TMC Quiet Island 大型仪器主动隔振系统 采用STACIS - TMC业界ling 先的主动压电消振技术、“硬安装”设计和始于0.6 Hz的隔振与内置隔振器的工具兼容。 模块化、定制和重新定位的灵活性 - 每个平台都根据客户的应用量身定做，但与混凝土平台不同，如果工具或地面特性发生变化，这些平台可以很容易地重新进行配置。

TMC STACIS IIIc 紧凑型有源压电 主动隔振 STACIS IIIc 是我们STACIS III 有源压电振动消除系统的紧凑型版本。它以较低的高度提供同样出色的隔振性能。 STACIS IIIc 非常适合没有活动地板或活动地板非常低的情况，在这种情况下，标准 STACIS III 系统的高度会使仪器过高。

TMC台式主动隔振平台采用地音探测速度传感器达到亚赫兹的低频性能，其低频灵敏度要优于加速度计。

主动隔振平台采用串联式主动系统结构的台式振动消除系统，再加上用于提升亚赫兹灵敏度的速度传感器，可以使低频振动得到大幅衰减。

STACIS®III主动隔振系统主动光学平台。采用*的惯性振动传感器，复杂的控制算法，和*的压电致动器。STACIS通过连续测量地板活动、扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时隔离振动。 初被设计用于*半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振，STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备