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TMC主动压电消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB,是专为扫描电子显微镜所设计的。扫描电子显微镜是振动敏感的仪器,而且这些精密仪器都有内置的隔振系统,SEM-Base可以兼容SEM内部预装的振动隔离系统。
更新时间:2025-10-18
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TMC Stage-Base混合压电电机主动隔振系统 TMC继续在*技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主要消振系统。
更新时间:2025-10-19
产品型号:Stage-Base
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TMC LaserTable-Base混合压电主动隔振系统 TMC的STACIS通过结合压电致动器和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制,可消除而不会放大极低频振动。LaserTable-Base将这两项技术(空气和STACIS)整合到一个集成的消振系统中。由于两个串联隔振系统的综合效应,这实现了低频率消振和qian所wei有的高频隔振水平。
更新时间:2025-10-19
产品型号:LaserTable-Base-
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TMC TOOL-Base主动压电地面减振平台 TOOL-Base是一种*的主动压电地面减振平台,用于超精密仪器和机械设备。 它适用于比典型的商业扫描电子显微镜(SEM)更大或更重的仪器,而且设备有高度限制。 TOOL-Base不局限于单一的配置,而是可以被设计成与工具的尺寸、腿的布局和高度要求紧密匹配。此外,它的容量可以与有效载荷的质量相匹配。
更新时间:2025-10-19
产品型号:TOOL-Base-
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TMC SEM-Base VI 主动压电隔振 硬安装技术 - SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容,可以从0.6 Hz开始主动减轻低频地面振动。 主动惯性振动消除 - SEM-Base VI使用高灵敏度、低频惯性速度传感器,即使在安静的地面上也能实现高水平的振动衰减。 采用压电技术的串行设计
更新时间:2025-10-19
产品型号:SEM-Base® VI
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TMC STACIS地面平台 主动压电隔振器 对于传统的实验室地面,隔离高大工具的建筑地面振动是一个人体工程学领域的挑战。将隔振器直接放置在工具下方可能会将工具抬高到一个不切实际的高度。此外,传统空气隔振器放置在一个较高、上重下轻的有效载荷之下时不稳定。
更新时间:2025-10-19
产品型号:Floor Platform
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